特點:

＊spray swing nozzle在基板上做90°來回噴灑的動作方式來取得高顯像的均勻性。

＊Work Size: MAX□200mm（φ12”）

＊可在液晶touch panel上進行program的操作。

＊轉速穩定，轉速精度在0.1%以下，最大轉速3000rpm，亦可做停止回轉的動作。

＊可由透明窗觀察顯像過程。