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光阻塗佈機(Spin Coater)
2022-04-12
主要是用來作光阻的塗佈。
旋轉塗佈法(Spin Coating)是最廣為用來上光阻的方法,通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心,在藉由不同階段的轉速和時間控制,使阻劑均勻塗佈在晶圓表面上。
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